PPS和PEEK塑料CMP夹持环研究报告

对于抛光工艺，有两种类型的夹持环，一种是金属夹持环，另一种是塑料夹持环。然而，与塑料夹持环相比，金属夹持环的摩擦系数高且表面易划伤，因此使用寿命较短。此外，金属环还会导致严重的颗粒产生，从而降低晶圆质量。因此，越来越多的制造商已将金属夹持环改用塑料夹持环（例如 PPS 或 PEEK）。通常，由于易于加工，PEEK 大管在该工艺中被广泛使用。如今，大多数抛光浆料都不含磨料，但在某些应用中，磨料仍然存在，会对塑料材料造成严重损坏。

2024-07-29

PPS和PEEK塑料CMP夹持环

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