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电子及半导体
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全球PPS和PEEK塑料CMP夹持环市场增长趋势2024-2030
Global PPS and PEEK Plastic CMP Rings Market Growth 2024-2030
对于抛光工艺,有两种类型的夹持环,一种是金属夹持环,另一种是塑料夹持环。然而,与塑料夹持环相比,金属夹持环的摩擦系数高且表面易划伤,因此使用寿命较短。此外,金属环还会导致严重的颗粒产生,从而降低晶圆质量。因此,越来越多的制造商已将金属夹持环改用塑料夹持环(例如 PPS 或 PEEK)。通常,由于易于加工,PEEK 大管在该工艺中被广泛使用。如今,大多数抛光浆料都不含磨料,但在某些应用中,磨料仍然存在,会对塑料材料造成严重损坏。
2024-07-29
中文PDF版:¥24800.00
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