半导体AMHS用E84传感器研究报告

本文研究晶圆运输采用自动化物料处理系统 (AMHS) 用E84传感器，该产品基于半导体SEMI E84 协议而设计的并行光学数据传输设备，即利用IR(光)将主动端与被动端设备之间的SEMI E84总线信号通过非接触方式进行收发，广泛应用于半导体AMHS和其它工业自动化物流领域。

2024-08-21

半导体AMHS用E84传感器

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