全球半导体炉管用硅部件市场增长趋势2024-2030

内容摘要

热处理工艺、薄膜沉积工艺可以统称为炉内工艺。二者加工场景中的炉内腔体结构存在一定共性，均需要使用硅舟、硅舟基座、硅内管、硅喷射管等硅部件产品，统称为炉管用硅部件（热处理、LPCVD）产品。,
,在半导体工艺中，热处理是不可或缺的重要工艺之一，具体包括氧化、扩散、退火。氧化是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理，在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程，氧化膜可作为离子注入的阻挡层及注入穿透层（损伤缓冲层）、表面钝化、绝缘栅材料以及器件保护层、隔离层、器件结构的介质层等。扩散是指在高温条件下，利用热扩散原理将杂质元素按工艺要求掺入硅衬底中，使其具有特定的浓度分布，从而改变硅材料的电学特性，形成半导体器件结构，扩散工艺在硅 IC 工艺中被用于制作 PN 结或构成集成电路中的电阻、电容、互连布线、二极管和晶体管等器件。退火是指在氮气等不活泼气氛中加热离子注入后的硅片，修复离子注入带来的晶格缺陷的过程，可以激活杂质、消除损伤。用于氧化/扩散/退火的基本设备包括卧式炉、立式炉和快速升温炉（RTP）。 ,
,薄膜沉积是一种添加工艺，是指利用化学方法或物理方法在晶圆表面沉积一层电介质薄膜或金属薄膜，根据沉积方法可以分为化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）三大类。CVD 是利用气态化学原材料在晶圆表面产生化学反应过程，在表面沉积一种固态物作为薄膜层。CVD 广泛应用在晶圆制造的沉积工艺中，包括外延硅沉积、硅沉积、电介质薄膜沉积和金属薄膜沉积。常用的化学气相沉积工艺包括常压化学气相沉积（APCVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）和离子增强型化学气相沉积（PECVD）。 其中 LPCVD（Low Pressure Chemical Vapor Deposition），广泛用于二氧化硅（LTO TEOS）、氮化硅（低应力）（Si3N4）、多晶硅（LP-POLY）、磷硅玻璃（BSG）、硼磷硅玻璃（BPSG）、掺杂多晶硅、石墨烯、碳纳米管等多种薄膜，和常压的 CVD 相比，LPCVD 设备有更低的综合成本、更高的产能和更好的薄膜性能，在薄膜制造过程中使用较为广泛。在芯片的热处理、LPCVD 工艺中，芯片处于 600-1,250 摄氏度的生产环境中，需要采用在高温环境下保持强度和超高纯度，且不会对芯片造成损伤和污染的结构部件作为与晶圆直接接触或者与加工环境（气体）接触的材料。,
,2023年全球半导体炉管用硅部件市场规模大约为76.9百万美元，预计2030年达到120百万美元，2024-2030期间年复合增长率（CAGR）为6.2%。就销量而言，2023年全球半导体炉管用硅部件销量为 ，预计2030年将达到 ，年复合增长率为 %。,
,目前全球半导体炉管用硅部件市场，主要由少数几家生产厂商主导，包括宁夏盾源聚芯半导体、SICO Technology GmbH和Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH等。,
,按产品类型：,    硅舟,    硅喷射管,    基座,    硅管,按应用：,    热处理设备（热氧化、退火、扩散）,    低压化学气相沉积（LPCVD）,本文包含的主要地区/国家：,    美洲地区,    美国,    加拿大,    墨西哥,    巴西,    亚太地区,    中国,    日本,    韩国,    东南亚,    印度,    澳大利亚,    欧洲,    德国,    法国,    英国,    意大利,    俄罗斯,    中东及非洲,    埃及,    南非,    以色列,    土耳其,    海湾地区国家,本文主要包含如下企业：,    宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司,    SICO Technology GmbH,    Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH

报告目录

1 研究范围

2 行业概要

3 全球市场竞争格局

4 全球主要地区规模分析

5 美洲地区

6 亚太

7 欧洲

8 中东及非洲

9 行业发展趋势、驱动因素及面临的挑战

10 制造成本分析

11 销售渠道、分销商及下游客户

12 全球主要地区半导体炉管用硅部件市场规模预测

13 核心企业简介

14 报告总结

报告图表

表格目录
 表 1： 全球主要地区半导体炉管用硅部件市场规模（2019, 2023 & 2030）&（百万美元）
 表 2： 全球主要国家半导体炉管用硅部件市场规模（2019, 2023 & 2030）&（百万美元）
 表 3： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量（2019-2024）&（件）
 表 4： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量份额（2019-2024）
 表 5： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 6： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型收入份额（2019-2024）
 表 7： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型价格（2019-2024）&（美元/件）
 表 8： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 9： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 10： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 11： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 12： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件价格（2019-2024）&（美元/件）
 表 13： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 14： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 15： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 16： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 17： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件价格（2019-2024）&（美元/件）
 表 18： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产地分布及市场分布
 表 19： 全球主要厂商半导体炉管用硅部件产品类型
 表 20： 全球半导体炉管用硅部件行业集中度分析（CR3, CR5 and CR10）&（2019-2024）
 表 21： 行业潜在进入者
 表 22： 行业并购及扩产情况
 表 23： 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 24： 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 25： 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 26： 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 27： 全球主要国家半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 28： 全球主要国家半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 29： 全球主要国家半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 30： 全球主要国家半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 31： 美洲主要国家半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 32： 美洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 33： 美洲主要国家半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 34： 美洲主要国家半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 35： 美洲半导体炉管用硅部件分类销量（2019-2024）&（件）
 表 36： 美洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 37： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 38： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 表 39： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 40： 亚太半导体炉管用硅部件分类销量（2019-2024）&（件）
 表 41： 亚太按不同应用，半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 42： 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 43： 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 表 44： 欧洲半导体炉管用硅部件分类销量（2019-2024）&（件）
 表 45： 欧洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 46： 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 47： 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 表 48： 中东及非洲半导体炉管用硅部件分类销量（2019-2024）&（件）
 表 49： 中东及非洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 表 50： 半导体炉管用硅部件行业发展驱动因素
 表 51： 半导体炉管用硅部件行业面临的挑战及风险
 表 52： 半导体炉管用硅部件行业发展趋势
 表 53： 半导体炉管用硅部件原料
 表 54： 半导体炉管用硅部件核心原料供应商
 表 55： 半导体炉管用硅部件分销商
 表 56： 半导体炉管用硅部件下游客户
 表 57： 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 58： 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入（2025-2030）&（百万美元）
 表 59： 美洲主要国家半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 60： 美洲半导体炉管用硅部件 Annual Revenue Forecast by Country （2025-2030）&（百万美元）
 表 61： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 62： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入预测（2025-2030）&（百万美元）
 表 63： 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 64： 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入预测（2025-2030）&（百万美元）
 表 65： 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 66： 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件收入预测（2025-2030）&（百万美元）
 表 67： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量预测（2025-2030）&（件）
 表 68： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型收入预测（2025-2030）&（百万美元）
 表 69： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件销量预测（2025-2030）&（件）
 表 70： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件收入预测（2025-2030）&（百万美元）
 表 71： 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司基本信息、总部、半导体炉管用硅部件产地分布、销售区域及竞争对手
 表 72： 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件产品规格及应用
 表 73： 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 半导体炉管用硅部件销量（件）、收入（百万美元）、价格（美元/件）及毛利率（2019-2024）
 表 74： 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司主要业务介绍
 表 75： 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司最新发展动态
 表 76： SICO Technology GmbH基本信息、总部、半导体炉管用硅部件产地分布、销售区域及竞争对手
 表 77： SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件产品规格及应用
 表 78： SICO Technology GmbH 半导体炉管用硅部件销量（件）、收入（百万美元）、价格（美元/件）及毛利率（2019-2024）
 表 79： SICO Technology GmbH主要业务介绍
 表 80： SICO Technology GmbH最新发展动态
 表 81： Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH基本信息、总部、半导体炉管用硅部件产地分布、销售区域及竞争对手
 表 82： Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件产品规格及应用
 表 83： Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH 半导体炉管用硅部件销量（件）、收入（百万美元）、价格（美元/件）及毛利率（2019-2024）
 表 84： Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH主要业务介绍
 表 85： Siliciumbearbeitung Andrea Holm GmbH最新发展动态


图表目录
 图 1： 半导体炉管用硅部件产品图片
 图 2： 本文涉及到的年份
 图 3： 研究目标
 图 4： 研究方法
 图 5： 研究过程与数据来源
 图 6： 全球半导体炉管用硅部件销量及增速（2019-2030）&（件）
 图 7： 全球半导体炉管用硅部件收入及增长率2019-2030（百万美元）
 图 8： 全球主要地区半导体炉管用硅部件市场规模 （2019, 2023 & 2030）&（百万美元）
 图 9： 全球主要国家/地区半导体炉管用硅部件市场份额（2023）
 图 10： 全球主要国家/地区半导体炉管用硅部件市场份额（2019, 2023 & 2030）
 图 11： 硅舟产品图片
 图 12： 硅喷射管产品图片
 图 13： 基座产品图片
 图 14： 硅管产品图片
 图 15： 2023年全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量份额
 图 16： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型收入份额（2019-2024）
 图 17： 热处理设备（热氧化、退火、扩散）
 图 18： 全球半导体炉管用硅部件在热处理设备（热氧化、退火、扩散）的销量（2019-2024）&（件）
 图 19： 低压化学气相沉积（LPCVD）
 图 20： 全球半导体炉管用硅部件在低压化学气相沉积（LPCVD）的销量（2019-2024）&（件）
 图 21： 2023年全球按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额
 图 22： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件收入份额 in 2023
 图 23： 2023年全球主要厂商半导体炉管用硅部件销量（件）
 图 24： 2023年全球主要厂商半导体炉管用硅部件销量份额
 图 25： 2023年全球主要厂商半导体炉管用硅部件收入（百万美元）
 图 26： 2023年全球主要厂商半导体炉管用硅部件收入份额
 图 27： 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 28： 2023年全球主要地区半导体炉管用硅部件收入份额
 图 29： 美洲半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 图 30： 美洲半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 图 31： 亚太半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 图 32： 亚太半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 图 33： 欧洲半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 图 34： 欧洲半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 图 35： 中东及非洲半导体炉管用硅部件销量（2019-2024）&（件）
 图 36： 中东及非洲半导体炉管用硅部件收入（2019-2024）&（百万美元）
 图 37： 2023年美洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额
 图 38： 美洲半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量（2019-2024）
 图 39： 美洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 40： 美国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 41： 加拿大半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 42： 墨西哥半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 43： 巴西半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 44： 2023年亚太主要地区半导体炉管用硅部件销量份额
 图 45： 亚太主要地区半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 图 46： 亚太半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量（2019-2024）
 图 47： 亚太按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 48： 中国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 49： 日本半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 50： 韩国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 51： 东南亚半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 52： 印度半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 53： 澳大利亚半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 54： 中国台湾半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 55： 2023年欧洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额
 图 56： 欧洲主要国家半导体炉管用硅部件收入份额（2019-2024）
 图 57： 欧洲半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量（2019-2024）
 图 58： 欧洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 59： 德国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 60： 法国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 61： 英国半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 62： 意大利半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 63： 俄罗斯半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 64： 中东及非洲主要国家半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 65： 中东及非洲半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量（2019-2024）
 图 66： 中东及非洲按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额（2019-2024）
 图 67： 埃及半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 68： 南非半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 69： 以色列半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 70： 土耳其半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 71： 海湾地区国家半导体炉管用硅部件收入及增长率（2019-2024）&（百万美元）
 图 72： 半导体炉管用硅部件生产成本分析
 图 73： 半导体炉管用硅部件生产流程
 图 74： 半导体炉管用硅部件供应链
 图 75： 半导体炉管用硅部件分销商
 图 76： 全球主要地区半导体炉管用硅部件销量份额预测（2025-2030）
 图 77： 全球主要地区半导体炉管用硅部件收入份额（2025-2030）
 图 78： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型销量份额预测（2025-2030）
 图 79： 全球半导体炉管用硅部件按不同产品类型收入份额预测（2025-2030）
 图 80： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件销量份额预测（2025-2030）
 图 81： 全球按不同应用，半导体炉管用硅部件收入份额预测（2025-2030）