全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场增长趋势2025-2031

内容摘要

2024年全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模大约为52.6百万美元，预计2031年达到98百万美元，2025-2031期间年复合增长率（CAGR）为9.5%。

用于半导体设备腔体零部件的PVD（物理气相沉积）和ALD（原子层沉积）涂层通常以氧化钇或氧化铝为基础，有时也采用氮氧化铝（AlON）材料。具体的化学成分与涂层厚度需根据应用需求进行定制。由于腔体内的工艺温度、处理时间以及所用气体种类因器件制程要求而异，这些变量将决定所需涂层的组合，以实现期望的涂层性能。定制化的高精度工程涂层能够在成本与性能之间实现最优平衡。

 沉积腔体内部包含多个直接接触晶圆或暴露于工艺气氛中的零部件，因此材料选择至关重要。等离子体蚀刻腔体中使用的腐蚀性化学气体会侵蚀设备部件表面并加速涂层劣化。在3D器件制程中，零部件长时间暴露于高温等离子体环境中，这会显著加剧材料腐蚀，从而产生微粒脱落沉积在晶圆表面，可能导致器件失效。
 过去，采用等离子喷涂氧化钇涂层或阳极氧化铝制成的保护部件一直是行业标准。然而，随着先进工艺节点中器件结构趋于纳米级，各部件对洁净度的要求大幅提升。传统涂层材料已难以承受蚀刻和沉积腔体中日益严苛的化学环境，进而影响良率。等离子喷涂工艺产生的涂层相对粗糙且多孔，而阳极氧化层在实际使用中易产生微裂纹，导致其加速退化。此外，腔体内部零部件结构复杂，传统喷涂方法难以覆盖非平面结构。
 高精度工程涂层借助与半导体晶圆制造相同的真空薄膜沉积技术，实现更优异的耐腐蚀性与抗氧化能力，以解决传统涂层的失效问题。目前主要采用的两种方法为：物理气相沉积（PVD）与原子层沉积（ALD）。
 每一种精密涂层方案都必须在具有腐蚀性等离子环境中展现出优异的耐磨与耐腐蚀性能，并确保与基材表面高度附着，从而形成均匀一致的涂层层析结构。同时，需综合考虑待涂零部件的结构几何、材料组成、腔体类型以及工艺条件，进而确定最合适的涂层化学体系与沉积方法。

全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务核心厂商有英特格、KoMiCo和英福康等，前三大厂商占有全球大约50%的份额。亚太是最大的市场，占有大约58%份额，之后是北美和欧洲，分别占有35%和7%的市场份额。涂层技术而言，PVD涂层是最大的细分，占有大约65%的份额。同时就下游来说，刻蚀设备是最大的下游领域，占有86%份额。

按涂层技术：
    PVD涂层
    ALD涂层

按应用：
    刻蚀设备
    沉积设备

本文包含的主要地区/国家：
    美洲地区
        美国
        加拿大
        墨西哥
        巴西
    亚太地区
        中国
        日本
        韩国
        东南亚
        印度
        澳大利亚
    欧洲
        德国
        法国
        英国
        意大利
        俄罗斯
    中东及非洲
        埃及
        南非
        以色列
        土耳其
        海湾地区国家

本文主要包含如下企业：
    TOCALO Co., Ltd.
    KoMiCo
    Cinos
    WONIK QnC
    Oerlikon Balzers
    Beneq倍耐克
    英特格
    英福康

报告目录

1 研究范围
    1.1 定义
    1.2 本文涉及到的年份
    1.3 研究目标
    1.4 研究方法
    1.5 研究过程与数据来源
    1.6 经济指标

2 行业概要
    2.1 全球总体规模
        2.1.1 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业总体规模（2020-2031）
        2.1.2 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020, 2024 & 2031）
        2.1.3 全球主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020, 2024 & 2031）
    2.2 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类
        2.2.1 PVD涂层
        2.2.2 ALD涂层
    2.3 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类市场规模
    2.4 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务下游应用
        2.4.1 刻蚀设备
        2.4.2 沉积设备
    2.5 全球不同应用市场规模

3 全球市场竞争格局
    3.1 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入
        3.1.1 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）
        3.1.2 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
    3.2 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品类型及总部所在地
        3.2.1 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务总部所在地
        3.2.2 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品类型
    3.3 行业集中度分析
        3.3.1 全球竞争态势分析
        3.3.2 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业集中度分析（CR3, CR5 and CR10）&（2023-2025）
    3.4 行业潜在进入者
    3.5 行业并购及扩产情况

4 全球主要地区规模分析
    4.1 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020-2025）
    4.2 全球主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020-2025）
    4.3 美洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率
    4.4 亚太半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率
    4.5 欧洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率
    4.6 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率

5 美洲地区
    5.1 美洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业规模（2020-2025）
    5.2 美洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入
    5.3 美洲不同应用收入
    5.4 美国
    5.5 加拿大
    5.6 墨西哥
    5.7 巴西

6 亚太
    6.1 亚太主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业规模（2020-2025）
    6.2 亚太半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入
    6.3 亚太不同应用收入
    6.4 中国
    6.5 日本
    6.6 韩国
    6.7 东南亚
    6.8 印度
    6.9 澳大利亚
    6.10 中国台湾

7 欧洲
    7.1 欧洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业规模（2020-2025）
    7.2 欧洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入
    7.3 欧洲不同应用收入
    7.4 德国
    7.5 法国
    7.6 英国
    7.7 意大利
    7.8 俄罗斯

8 中东及非洲
    8.1 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业规模（2020-2025）
    8.2 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入
    8.3 中东及非洲不同应用收入
    8.4 埃及
    8.5 南非
    8.6 以色列
    8.7 土耳其
    8.8 海湾地区国家

9 行业发展趋势、驱动因素及面临的挑战
    9.1 行业发展驱动因素
    9.2 行业面临的挑战及风险
    9.3 行业发展趋势

10 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模预测
    10.1 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模预测（2026-2031）
    10.2 美洲主要国家预测（2026-2031）
    10.3 亚太地区主要国家预测（2026-2031）
    10.4 欧洲主要国家预测（2026-2031）
    10.5 中东及非洲主要国家预测（2026-2031）
    10.6 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术预测（2026-2031）
    10.7 全球不同应用预测（2026-2031）

11 核心企业简介
    11.1 TOCALO Co., Ltd.
        11.1.1 TOCALO Co., Ltd.基本信息
        11.1.2 TOCALO Co., Ltd.半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.1.3 TOCALO Co., Ltd.半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.1.4 TOCALO Co., Ltd.主要业务
        11.1.5 TOCALO Co., Ltd.最新发展动态
    11.2 KoMiCo
        11.2.1 KoMiCo基本信息
        11.2.2 KoMiCo半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.2.3 KoMiCo半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.2.4 KoMiCo主要业务
        11.2.5 KoMiCo最新发展动态
    11.3 Cinos
        11.3.1 Cinos基本信息
        11.3.2 Cinos半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.3.3 Cinos半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.3.4 Cinos主要业务
        11.3.5 Cinos最新发展动态
    11.4 WONIK QnC
        11.4.1 WONIK QnC基本信息
        11.4.2 WONIK QnC半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.4.3 WONIK QnC半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.4.4 WONIK QnC主要业务
        11.4.5 WONIK QnC最新发展动态
    11.5 Oerlikon Balzers
        11.5.1 Oerlikon Balzers基本信息
        11.5.2 Oerlikon Balzers半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.5.3 Oerlikon Balzers半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.5.4 Oerlikon Balzers主要业务
        11.5.5 Oerlikon Balzers最新发展动态
    11.6 Beneq倍耐克
        11.6.1 Beneq倍耐克基本信息
        11.6.2 Beneq倍耐克半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.6.3 Beneq倍耐克半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.6.4 Beneq倍耐克主要业务
        11.6.5 Beneq倍耐克最新发展动态
    11.7 英特格
        11.7.1 英特格基本信息
        11.7.2 英特格半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.7.3 英特格半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.7.4 英特格主要业务
        11.7.5 英特格最新发展动态
    11.8 英福康
        11.8.1 英福康基本信息
        11.8.2 英福康半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
        11.8.3 英福康半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入、毛利率及市场份额（2020-2025）
        11.8.4 英福康主要业务
        11.8.5 英福康最新发展动态

12 报告总结

报告图表

表格目录
 表 1： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020, 2024 & 2031）&（百万美元）
 表 2： 全球主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模（2020, 2024 & 2031）&（百万美元）
 表 3： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 4： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入份额（2020-2025）
 表 5： 全球不同应用收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 6： 全球不同应用收入份额（2020-2025）
 表 7： 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 8： 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 表 9： 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务总部所在地及市场分布
 表 10： 全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品类型
 表 11： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业集中度分析（CR3, CR5 and CR10）&（2023-2025）
 表 12： 行业潜在进入者
 表 13： 行业并购及扩产情况
 表 14： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 15： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 表 16： 全球主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 17： 全球主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 表 18： 美洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 19： 美洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 20： 美洲不同应用收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 21： 亚太主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 22： 亚太半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 23： 亚太不同应用收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 24： 欧洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 25： 欧洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 26： 欧洲不同应用收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 27： 中东及非洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 28： 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务分类收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 29： 中东及非洲不同应用收入（2020-2025）&（百万美元）
 表 30： 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业发展驱动因素
 表 31： 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业面临的挑战及风险
 表 32： 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务行业发展趋势
 表 33： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2026-2031）&（百万美元）
 表 34： 美洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 35： 亚太主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 36： 欧洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 37： 中东及非洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 38： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 39： 全球不同应用收入预测（2026-2031）&（百万美元）
 表 40： TOCALO Co., Ltd.基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 41： TOCALO Co., Ltd. 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 42： TOCALO Co., Ltd. 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 43： TOCALO Co., Ltd.主要业务
 表 44： TOCALO Co., Ltd.最新发展动态
 表 45： KoMiCo基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 46： KoMiCo 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 47： KoMiCo 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 48： KoMiCo主要业务
 表 49： KoMiCo最新发展动态
 表 50： Cinos基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 51： Cinos 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 52： Cinos 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 53： Cinos主要业务
 表 54： Cinos最新发展动态
 表 55： WONIK QnC基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 56： WONIK QnC 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 57： WONIK QnC 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 58： WONIK QnC主要业务
 表 59： WONIK QnC最新发展动态
 表 60： Oerlikon Balzers基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 61： Oerlikon Balzers 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 62： Oerlikon Balzers 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 63： Oerlikon Balzers主要业务
 表 64： Oerlikon Balzers最新发展动态
 表 65： Beneq倍耐克基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 66： Beneq倍耐克 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 67： Beneq倍耐克 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 68： Beneq倍耐克主要业务
 表 69： Beneq倍耐克最新发展动态
 表 70： 英特格基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 71： 英特格 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 72： 英特格 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 73： 英特格主要业务
 表 74： 英特格最新发展动态
 表 75： 英福康基本信息、企业类型、市场区域及竞争对手
 表 76： 英福康 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品及服务
 表 77： 英福康 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）、毛利率及市场份额（2020-2025）
 表 78： 英福康主要业务
 表 79： 英福康最新发展动态


图表目录
 图 1： 半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务产品图片
 图 2： 本文涉及到的年份
 图 3： 研究目标
 图 4： 研究方法
 图 5： 研究过程与数据来源
 图 6： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2031）（百万美元）
 图 7： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场规模 （2020, 2024 & 2031）&（百万美元）
 图 8： 全球主要国家/地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场份额（2024）
 图 9： 全球主要国家/地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务市场份额（2020, 2024 & 2031）
 图 10： PVD涂层产品图片
 图 11： ALD涂层产品图片
 图 12： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入份额（2020-2025）
 图 13： 刻蚀设备
 图 14： 沉积设备
 图 15： 2024年全球不同应用收入份额
 图 16： 2024年全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（百万美元）
 图 17： 2024年全球主要厂商半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额
 图 18： 2024年全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额
 图 19： 美洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 图 20： 亚太半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 图 21： 欧洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 图 22： 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入（2020-2025）&（百万美元）
 图 23： 美洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 图 24： 美洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入（2020-2025）
 图 25： 美洲不同应用收入份额（2020-2025）
 图 26： 美国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 27： 加拿大半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 28： 墨西哥半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 29： 巴西半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 30： 亚太主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 图 31： 亚太半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入（2020-2025）
 图 32： 亚太不同应用收入份额（2020-2025）
 图 33： 中国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 34： 日本半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 35： 韩国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 36： 东南亚半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 37： 印度半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 38： 澳大利亚半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 39： 中国台湾半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 40： 欧洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 图 41： 欧洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入（2020-2025）
 图 42： 欧洲不同应用收入份额（2020-2025）
 图 43： 德国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 44： 法国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 45： 英国半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 46： 意大利半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 47： 俄罗斯半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 48： 中东及非洲主要国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2020-2025）
 图 49： 中东及非洲半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入（2020-2025）
 图 50： 中东及非洲不同应用收入份额（2020-2025）
 图 51： 埃及半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 52： 南非半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 53： 以色列半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 54： 土耳其半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 55： 海湾地区国家半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入及增长率（2020-2025）&（百万美元）
 图 56： 全球主要地区半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务收入份额（2026-2031）
 图 57： 全球半导体设备零部件PVD和ALD熔射服务按不同涂层技术收入份额预测（2026-2031）
 图 58： 全球不同应用收入份额预测（2026-2031）